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硅料與硅片品質(zhì)提升解決方案 >> 氧碳含量超標解決方案
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氧碳含量超標解決方案
氧含量影響電阻率及少子壽命，碳含量影響到硅片的脆性。那標準是什么，如何解決超標問題，讓我們來一起關注......
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